用于光刻胶涂层的台式喷涂系统

用于光刻胶涂层的台式喷涂系统 – 喷涂光刻胶驰飞超声波喷涂

我们有一个台式喷涂系统,用于在 300mm x 300mm 区域上进行光刻胶涂层。我们在喷涂光刻胶方面有丰富的经验,基材可以是硅片、玻璃、陶瓷和金属,并进行了大量的试验。

有一个专门设计用于喷涂具有深沟槽或空腔图案的基板的喷嘴。

对于400um的基板厚度,需要定制4英寸加热真空板。尺寸和形状与 SOI 晶圆相同,以避免过多的光刻胶渗入 SOI 晶圆的背面。

最重要的是底材一定要平整,不平整会造成涂膜不平整。那么为了获得均匀可控的涂层厚度,就需要更高的涂层工艺。有升级的洁净室,可进行高标准的测试实验。欢迎您寄送样品材料进行免费测试。

用于光刻胶涂层的台式喷涂系统 - 喷涂光刻胶 - 驰飞超声波喷涂

联系我们