半导体制造中涂胶工艺之超声喷涂
超声波雾化喷涂机用于光致抗蚀剂的喷涂，这种喷涂式涂胶技术的关键是超声波喷嘴，它利用换能器的振荡，在雾化表面形成表面波，将光致抗蚀剂雾化成精细液滴，其平均特征直径约为20μm。为满足良好雾化的要求，选用的光致抗蚀剂的黏度最好低于30cps，对于高黏度光致抗蚀剂，可用相应的溶剂进行稀释。光致抗蚀剂溶液的输送采用自动超声波注射泵系统，用计量泵进行精确控制。
超声波雾化喷涂机与其他喷涂设备主要不同之处是选用的喷嘴为超精细压力雾化喷嘴。喷涂时选择恒压泵提供恒定压力的洁净空气或氮气进行压力雾化，并运用二维运动控制平台进行扫描式运动，将雾化成微细颗粒的光致抗蚀剂均匀喷涂至硅片上，形成均匀薄膜。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
