太阳能薄膜喷涂机

超声波系统推出用于太阳能应用的新型喷雾系统
UAM6000可提供高容量,高精度涂层,满足光伏电池制造要求

杭州驰飞是高性能超声波喷涂设备的制造商,宣布推出用于PV晶圆涂层应用的UAM6000。与传统喷涂技术相比,UAM6000采用无喷嘴超声波技术实现高度均匀,更薄的涂层沉积。 UAM6000针对大批量在线制造进行了优化,每小时可处理多达4,300个晶圆(125mm)。 UAM6000具有晶圆干燥系统,双计量泵液体输送系统,以及带触摸屏界面的先进控制系统。 UAM6000提高了在线热扩散和激光掺杂选择性发射极(LDSE)工艺的制造质量,效率,产量和可靠性。

UAM6000提供液体涂层,转移效率为95-99%,利用横向超声喷嘴更好地控制薄膜厚度,降至亚微米级别。此外,它还具有处理磷酸/硼酸和磷酸氧化物掺杂剂以及其他专有涂料转移的多功能性。
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