AMB陶瓷基板铜板光刻胶曝光显影用超声光刻胶涂布机 在功率半导体封装领域,AMB(活性金属钎焊)陶瓷基板因高热导率、优异绝缘性,成为高端功率模块的核心载体,其铜板光刻胶曝光显影工艺直接决定电路图形精度与基板可靠性,超声涂布机与光刻胶涂布机作为关键设备,承担着光刻胶精准涂覆的核心职责,是保障工艺稳定性的重要支撑。 超声涂布机依托高频超声振动的雾化原理,适配AMB陶瓷基板铜板的光刻胶涂覆需求,破解了传统涂布工艺的诸多痛点。其核心是通过超声振子将光刻胶雾化成尺寸均匀的微米级液滴,在低压气流引导下轻柔沉积于铜板表面,实现非接触式涂覆,避免对铜板表面造成机械损伤。相较于传统旋涂工艺,超声涂布机的材料利用率提升至90%以上,大幅减少高成本光刻胶的浪费,同时能精准控制涂层厚度,可实现10nm至100μm范围内的灵活调节,均匀性误差控制在±2%以内,有效规避边缘堆积、针孔等缺陷,适配AMB基板精细化电路的制备需求。此外,其低速柔和的喷涂特性的能适配铜板表面的微结构,提升台阶覆盖率,为后续曝光显影的图形完整性奠定基础。 [...]