喷涂聚酰亚胺涂层
聚酰亚胺作为一种特种工程材料,已广泛应用在航空、航天、微电子、纳米、液晶、分离膜、激光等领域。上世纪60年代,各国都在将聚酰亚胺的研究、开发及利用列入 21世纪最有希望的工程塑料之一。聚酰亚胺,因其在性能和合成方面的突出特点,不论是作为结构材料或是作为功能性材料,其巨大的应用前景已经得到充分的认识,被称为是”解决问题的能手”(problem solver),并认为”没有聚酰亚胺就不会有今天的微电子技术”,聚酰亚胺常被用于半导体封装。
目前超声波喷涂技术被用于喷涂聚酰亚胺,它是一种简单、经济且可重复的光刻胶涂层工艺,用于光刻晶圆加工,使用先进超声技术和液体控制技术对流速、喷涂速度和涂层厚度进行精细控制。
超声精密喷涂机可在各种形状的基底上均匀覆盖薄膜,就算是3D有沟壑的基底也不影响涂层的质量。超声喷涂机是一种不易堵塞的喷涂方式,喷涂雾化的液滴直径很小,随着超声频率越大,液滴直径越小,喷涂的单层薄膜涂层越薄,并且超声喷涂工艺稳定。