Спрей для тонких пленок цеолита
Спрей для тонких пленок цеолита. Высокопроизводительное изготовление тонких пленок цеолита с помощью распыления ультразвуковым соплом
Тонкие пленки цеолита с упорядоченными нанопорами и низкой диэлектрической проницаемостью могут служить в качестве изоляционного слоя в микроэлектронных устройствах. Здесь мы сообщаем о масштабируемом методе ультразвукового распыления с помощью распылительной насадки, который решает эту проблему. Высокочастотная стоячая волна, вводимая ультразвуковым соплом, образует капли отлитых суспензий однородного размера в масштабе от десятков до сотен микрометров, что приводит к образованию однородной тонкой пленки после удаления растворителя. Мы сосредоточены на нанесении тонких пленок, содержащих цеолит MFI из чистого кремнезема, на подложку из кремниевой пластины. Мы систематически исследовали, как качество тонких пленок цеолита зависит от состава литых суспензий и рабочих параметров UAM4000L.
Ультразвуковое сопло распыления видео осаждения
Рекомендуемое оборудование
Ультразвуковая форсунка
Лабораторная система ультразвукового покрытия
UAM3000 Медицинская лакировочная машина
UAM4000 Ультразвуковой спрей
UAM4000L настольное ультразвуковое покрытие
UAM6000 Ультразвуковой распылитель
UAL100 Ультразвуковой дисперсионный шприцевой насос
LULP500 Ультразвуковой лабораторный прибор
Prosonic1000 Промышленное ультразвуковое устройство
Prosonic3000 Самый мощный ультразвуковой процессор
