超声波喷雾热解沉积系统

UAM6000系统是一种自动超声波喷雾热解沉积系统,用于在薄膜太阳能电池和先进电子制造中形成TCO(透明导电氧化物)层。杭州驰飞的超声波喷嘴具有无堵塞,可重复,长寿命的性能,即使在苛刻的高温条件下喷涂腐蚀性溶液也是如此。 用超声喷雾热解沉积的TCO层具有与使用真空沉积(CVD)或溅射设备产生的TCO层相同的效率,但是设备成本小,也减少原材料的使用量。 在典型的喷雾热解过程中,使用超声喷嘴雾化氧化物溶液。
超声波喷雾热解沉积系统

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