超声波喷雾热解系统沉积TCO

该视频显示了杭州驰飞的超声波喷雾热解系统沉积TCO。这可用于薄膜太阳能电池和先进电子制造中的TCO层的形成。用超声喷雾热解沉积的TCO层与使用真空沉积（CVD）或溅射设备产生的几乎相同的效率，但是设备的成本降低了很多，并且也减少了昂贵材料的过喷。