IC盖面油墨喷涂方案
一、超声波喷涂的核心优势（对比传统喷涂）
1. 超高均匀性
– 雾化粒径：5-50μm（可调），CV值＜5%
– 膜厚控制精度：±1μm（适用2-20μm涂层）
2. 材料利用率＞95%
– 定向喷涂减少过喷，节省高成本油墨（如PI、环氧树脂）
3. 零溶剂损伤风险
– 低温雾化（＜40℃），保护热敏感IC元件
4. 复杂结构覆盖
– 狭缝穿透性优异，适应芯片边缘/引脚区全覆盖
二、关键工艺参数设计
– 雾化频率：60-120 kHz（控制粒径）
– 油墨粘度：10-50 cP（需预热至40℃）
– 喷涂高度：50-100 mm（防液滴聚合）
– 移动速度：1-10 mm/s（调节膜厚）
– 气压：0.1-0.3 MPa（雾化辅助气流）
三、设备选型要点
1. 喷嘴模块
– 多通道阵列（覆盖300mm晶圆需≥8喷嘴）
– 防堵塞钛合金喷头（孔径0.1mm）
2. 运动系统
– 直线电机平台（重复定位精度±5μm）
– 六轴机械手（适应异形基板）
3. 环境控制
– Class 1000级洁净腔体（温湿度±1%控制）
– 静电消除装置（＜100V）
4. 在线监测
– 实时膜厚传感器（激光干涉仪）
– 自动粘度补偿系统
四、IC盖面油墨的专用解决方案
1. 低张力油墨适配
– 表面张力需＜30 dyn/cm（建议添加0.1%氟系流平剂）
2. 阶梯覆盖工艺
– 首层薄涂（3μm）→预固化→二次喷涂→终固化
3. 边缘防护
– 聚焦式喷嘴对引脚区进行2倍喷涂量补偿
4. 固化兼容性
– UV固化：365nm波长，能量密度80mJ/cm²
– 热固化：阶梯升温（80℃→150℃/N₂环境）
五、成本效益分析
– 油墨损耗率：传统喷涂40-50% → 超声波喷涂＜5%
– 良品率：传统喷涂85-90% → 超声波喷涂98%+
– 设备维护周期：传统喷涂200小时 → 超声波喷涂1,000小时
– 综合成本（5年）：传统喷涂高35% → 超声波喷涂为基准
结论：超声波喷涂在IC盖面工艺中实现高精度涂层控制，特别适用于高价值芯片制造，建议选择模块化设备兼容未来大尺寸芯片（如＞500×500mm）。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
