15 05, 2025

AZ系列光刻胶深度解析

By |2025-05-07T13:15:10+08:002025年5月15日|

AZ系列光刻胶深度解析 : 探秘光刻胶领域的中坚力量 在光刻工艺的核心材料体系中,AZ系列光刻胶占据着举足轻重的地位,凭借其优异性能,成为众多科研与生产场景的优选材料。该系列光刻胶专为i线、G线光刻精心设计,在紫外光源照射下,分子结构会发生特定变化,从而精准实现图案从掩膜版到基底的转移,充分满足多样化的工艺需求。根据性能与应用场景的差异,AZ系列光刻胶可细分为正胶、负胶以及正负转换胶三大类别。 一、AZ正胶:多样化选择满足不同厚度需求 [...]

14 05, 2025

光刻胶明星SU-8

By |2025-05-15T09:50:23+08:002025年5月14日|

光刻胶明星SU-8 :特性、应用与创新涂布工艺 在光刻工艺的材料家族里,SU-8光刻胶凭借自身独特优势,占据着极为重要的地位。它属于负性光刻胶类别,基于环氧树脂体系构建而成。其“负性”特征体现在,一旦暴露于紫外线之下,受光照射部分的分子会迅速发生交联反应,形成紧密的网络结构,而未被照射的剩余部分依旧维持可溶状态,能在后续的显影环节中被轻松冲洗掉。SU-8光刻胶名字中的“8”,源自其分子结构内所含的8个环氧基团,这些环氧基团在光刻过程里发挥关键作用,它们相互交联,最终塑造出稳固且精准的图形结构 。 一、卓越性能铸就应用优势 [...]

13 05, 2025

旋涂与超声波喷涂协同技术

By |2025-05-13T11:24:41+08:002025年5月13日|

旋涂与超声波喷涂协同技术 揭秘光刻匀胶关键: 旋涂与超声波喷涂协同技术 在半导体光刻工艺中,匀胶环节堪称奠定图案精度的基石,而旋涂速度作为核心参数,深刻影响着光刻胶的最终成膜质量。如何科学确定旋涂速度?它又怎样改变光刻胶的性能?本文将为您深度解析。 一、匀胶过程:从点滴到均匀成膜的精密演绎 [...]

13 05, 2025

涂胶显影设备:光刻工艺的精密搭档与技术革新

By |2025-05-07T12:57:08+08:002025年5月13日|

涂胶显影设备 :光刻工艺的精密搭档与技术革新 在半导体制造的精密光刻工艺中,涂胶显影设备是与光刻机协同作业的核心装备,直接影响芯片的生产精度与良率。它涵盖涂胶机、喷胶机和显影机等设备,通过与光刻设备联机作业(In line),构建起高效的圆片处理与光刻生产线,共同完成从光刻胶涂布、烘烤到显影的复杂工艺流程。 一、涂胶显影与TRACK设备的深度协作 [...]

13 05, 2025

攻克SU-8光刻胶旋涂均匀性难题

By |2025-05-13T09:32:33+08:002025年5月13日|

攻克SU-8光刻胶旋涂均匀性难题 攻克SU-8光刻胶旋涂均匀性难题 :多维度优化策略与创新技术应用 在半导体制造、微机电系统(MEMS)等精密领域,SU-8光刻胶的均匀涂覆是保障光刻工艺精度的关键。然而,旋涂过程中受多种因素干扰,易出现胶层厚度不均、边缘隆起等问题。深入剖析影响因素并结合创新技术,是实现高质量涂覆的核心路径。 一、四大核心因素影响旋涂均匀性 [...]

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