13 04, 2023

光致抗蚀剂超声喷涂

By |2023-04-07T15:53:39+08:002023年4月13日|

光致抗蚀剂超声喷涂 MEMS晶圆光刻胶超声波喷涂 在过去的十年中,已经在MEMS晶圆和其他3D微结构上直接喷涂光刻胶涂层,对喷涂沉积到3D形貌的优势进行了大量研究。 与传统的旋涂相比,采用超声波喷涂的光刻胶涂层在沉积更均匀的涂层方面具有优势,特别是在高纵横比沟槽和V形槽结构的侧壁顶部,离心旋转无法沉积均匀的涂层 沿侧壁形成均匀的薄膜,而不会在空腔底部沉积过多的光刻胶。 [...]

11 04, 2023

喷涂PEM水电解制氢膜电极

By |2023-04-07T15:39:45+08:002023年4月11日|

喷涂PEM水电解制氢膜电极 氢是最有效的能量载体,氢气可以从包括水在内的不同原料来源中获得。在众多制氢方法中,通过电解水可以获得环保、高纯度的氢气。然而,就可持续性和环境影响而言,PEM水电解被认为是从可再生能源生产高纯高效氢气的最有前途的技术,并且仅排放氧气作为副产品而没有任何碳排放。 此外,产生的氢气(H 2)和氧气(O 2) [...]

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