24 04, 2022

血管腔内介入手术机器人未来的发展方向

By |2022-04-24T16:21:02+08:002022年4月24日|

血管腔内介入手术机器人未来的发展方向 血管腔内介入手术机器人未来的发展方向 - 驰飞超声波喷涂 血管腔内介入手术机器人的设计要适应商品化的血管腔内器具,同时,血管腔内器具的再开发也要适应机器人的特性。目前,所有商品化的血管腔内器具都是按人手操作而设计,尤其是支架的释放手柄。随着血管腔内介入手术机器人研发的进步和临床应用的开展,适合机器人释放的手柄也会应运而生,两者的趋近会使操作更为合理。 [...]

18 06, 2021

光刻胶涂覆方法

By |2023-12-13T14:45:53+08:002021年6月18日|

光刻胶涂覆方法 目前在晶片制作的光刻工艺流程中,会使用光刻胶涂覆在晶片的特定区域,并进行烘烤定型,在后续工艺中对这一特定区域进行保护,对没有光刻胶涂覆的区域进行曝光、刻蚀,从而在晶片上形成有效图形窗口或功能图形。 一般光刻胶是用涂胶机滴到晶片上,旋转晶片使光刻胶涂布均匀,这种工艺用在表面平坦的晶片上,基本能满足要求。然而,若是晶片表 面不平整,即晶片上有凸点,涂覆光刻胶之后,晶片上凸点所涂覆的光刻胶则会较其他部位薄,即使经过烘烤定型,在后续的工艺中,也有可能不能良好地保护位于其下方区域的晶片,让其遭到曝光和蚀刻损害,所形成的图形也会造成误差。 使用超声波光刻胶涂覆方法能够解决上述问题,超声波光刻胶涂覆机使用特定的喷头和360可旋转的机械结构,能够均匀涂覆于晶片表面,无论是凸点还是凹糟都会均匀覆盖,且超声喷涂雾化液滴极细再配上超声波光刻胶涂覆机的烘干功能,边涂覆边烘干定型,在后续的工艺中,光刻胶能够更好地保护其下方 [...]

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