超声喷雾热解低温处理氧化铟薄膜晶体管
超声喷雾热解低温处理氧化铟薄膜晶体管 超声波喷雾热解技术,让多晶、高度均匀的铟氧化物薄膜生长不再是难题! 超声波喷雾热解技术是一种独特的微粉制备技术,它通过超声波雾化技术将溶液均匀雾化成微米或纳米级微雾,随后通入高温环境中进行热裂解或瞬间溶剂蒸发,从而得到微细粉体。这种技术以其高纯度、高活性以及颗粒大小均匀的特点,在科研领域和工业生产中均得到广泛应用。 近期,超声波喷雾热解技术被成功应用于生长多晶、高度均匀的铟氧化物薄膜。研究人员使用In3前体水溶液,在空气中于200–300 °C的温度范围内进行喷雾热解,成功制备出了高质量的铟氧化物薄膜。这种薄膜在光电子器件、传感器等领域具有广阔的应用前景。超声波喷雾热解技术的成功应用,不仅为铟氧化物的制备提供了新的方法,也为其他高性能材料的制备提供了借鉴和参考。 [...]