兆声波清洁技术
兆声波清洁技术 是一种先进的声学清洁方案，其原理温和且高效，可广泛应用于晶圆、光学元件、医疗植入物及工业零部件等领域。与传统的超声波清洁相比，兆声波系统具备更高的工作频率，能够在精密清洁过程中提供更细致的处理能力。
该系统通过压电换能器产生声学能量，所采用的频率通常在 0.8 至 2 兆赫之间，远高于超声波清洁所使用的 20 至 200 千赫范围。由于频率更高，兆声波产生的空化效应更为细腻，空化气泡尺寸更小，数量更多，从而能够以更集中的能量有效清除微米级污染物，同时避免对脆弱元件造成损伤。该技术常用于晶圆表面的颗粒去除，并可搭配多种化学溶液以实现最佳清洁效果。
兆声波清洁技术的工作原理主要依赖于高频声波的产生。压电换能器发出的声波形成交替的高压与低压区域，进而引发微空化气泡的生成。这些微气泡能够渗透到细微表面、缝隙及复杂结构中，有效剥离附着在基材上的颗粒与污染物。
该技术之所以适用于高精度清洁任务，正是得益于其微米级的空化气泡，它们能够在去除亚微米级污染物的同时，确保工件表面不受损伤。相比之下，低频超声波所产生的大尺寸气泡则可能对敏感产品造成潜在风险。
特别是在硅晶圆的清洁应用中，兆声波技术展现出高度针对性、高效性与可靠性，其微小但密集的气泡群能够均匀覆盖复杂形貌，实现全面而彻底的清洁。
关于驰飞
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