14 05, 2025

光刻胶明星SU-8

By |2025-05-15T09:50:23+08:002025年5月14日|

光刻胶明星SU-8 :特性、应用与创新涂布工艺 在光刻工艺的材料家族里,SU-8光刻胶凭借自身独特优势,占据着极为重要的地位。它属于负性光刻胶类别,基于环氧树脂体系构建而成。其“负性”特征体现在,一旦暴露于紫外线之下,受光照射部分的分子会迅速发生交联反应,形成紧密的网络结构,而未被照射的剩余部分依旧维持可溶状态,能在后续的显影环节中被轻松冲洗掉。SU-8光刻胶名字中的“8”,源自其分子结构内所含的8个环氧基团,这些环氧基团在光刻过程里发挥关键作用,它们相互交联,最终塑造出稳固且精准的图形结构 。 一、卓越性能铸就应用优势 [...]

13 05, 2025

旋涂与超声波喷涂协同技术

By |2025-05-13T11:24:41+08:002025年5月13日|

旋涂与超声波喷涂协同技术 揭秘光刻匀胶关键: 旋涂与超声波喷涂协同技术 在半导体光刻工艺中,匀胶环节堪称奠定图案精度的基石,而旋涂速度作为核心参数,深刻影响着光刻胶的最终成膜质量。如何科学确定旋涂速度?它又怎样改变光刻胶的性能?本文将为您深度解析。 一、匀胶过程:从点滴到均匀成膜的精密演绎 [...]

13 05, 2025

涂胶显影设备:光刻工艺的精密搭档与技术革新

By |2025-05-07T12:57:08+08:002025年5月13日|

涂胶显影设备 :光刻工艺的精密搭档与技术革新 在半导体制造的精密光刻工艺中,涂胶显影设备是与光刻机协同作业的核心装备,直接影响芯片的生产精度与良率。它涵盖涂胶机、喷胶机和显影机等设备,通过与光刻设备联机作业(In line),构建起高效的圆片处理与光刻生产线,共同完成从光刻胶涂布、烘烤到显影的复杂工艺流程。 一、涂胶显影与TRACK设备的深度协作 [...]

13 05, 2025

攻克SU-8光刻胶旋涂均匀性难题

By |2025-05-13T09:32:33+08:002025年5月13日|

攻克SU-8光刻胶旋涂均匀性难题 攻克SU-8光刻胶旋涂均匀性难题 :多维度优化策略与创新技术应用 在半导体制造、微机电系统(MEMS)等精密领域,SU-8光刻胶的均匀涂覆是保障光刻工艺精度的关键。然而,旋涂过程中受多种因素干扰,易出现胶层厚度不均、边缘隆起等问题。深入剖析影响因素并结合创新技术,是实现高质量涂覆的核心路径。 一、四大核心因素影响旋涂均匀性 [...]

12 05, 2025

超声喷涂玻璃陶瓷

By |2025-05-13T14:41:27+08:002025年5月12日|

超声喷涂玻璃陶瓷 超声喷涂玻璃陶瓷 :开启性能升级新篇 在无机非金属材料的广阔领域中,玻璃陶瓷作为一颗璀璨新星,正以独特的性能与优势崭露头角。玻璃、陶瓷和玻璃陶瓷虽同属无机非金属材料(或硅酸盐材料范畴),但微观结构却各有乾坤。玻璃是非晶体,陶瓷属于多晶体,而玻璃陶瓷则是晶相与玻璃相结合的复合材料。如今,众多功能玻璃和陶瓷材料已突破传统硅酸盐或石英的局限,朝着氟化物、磷酸盐等方向拓展,玻璃陶瓷也凭借自身特性,在材料世界中占据重要地位。 玻璃陶瓷是通过高温融化、成型、热处理制成的晶相与玻璃相复合材料,多由玻璃再加工而来,因此也被称为微晶玻璃。它巧妙融合了玻璃和陶瓷的性能,拥有机械强度高、热膨胀系数可调、耐热冲击、耐化学腐蚀、低介电损耗、低导电率等卓越性能,在多个领域展现出巨大的应用潜力。 [...]

12 05, 2025

方片衬底光刻胶喷涂

By |2025-05-07T12:50:21+08:002025年5月12日|

方片衬底光刻胶喷涂 :多材料适配与技术突破 在半导体封装、微型电路制造以及新型显示等领域,方片衬底如陶瓷、玻璃、PET等材料的光刻胶喷涂工艺至关重要。不同材质的衬底特性各异,对光刻胶喷涂技术提出了多样化的挑战与需求。 陶瓷衬底硬度高、表面致密,传统喷涂方法易出现光刻胶附着力不足、涂层不均的问题。玻璃衬底表面光滑,要求喷涂技术能实现高精度的胶层厚度控制,避免出现流挂、边缘堆积等缺陷。而PET等柔性方片衬底质地柔软,在喷涂过程中易发生形变,需要非接触式、低应力的喷涂方式 。 [...]

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