杭州驰飞 - 2017中国国际石墨烯创新大会 今年，纳米行业备受关注的盛会——2017南京国际石墨烯创新展览会于9月24日- 9月26日如期举办。 [...]

超声波节能光刻胶高精度喷涂设备 光刻胶又称光致抗蚀剂，是由感光树脂、增感剂和溶剂等组成的光敏感混合液体。它在集成电路、太阳能光伏、微机电系统等领域应用广泛。高均匀性的光刻胶薄膜多采用旋转涂胶工艺。利用旋转涂胶工艺所获得的光刻胶薄膜厚度是由光刻胶的粘度、表面张力和转盘的旋转角速度等因素决定，绝大多数的光刻胶因旋转涂胶时的离心力被甩离晶圆表面，造成浪费现象，故光刻胶利用率极低。 针对光刻胶涂覆工艺（旋转涂胶工艺）的浪费和环境污染问题，驰飞超声波在自行研发的120KHZ的超声波雾化喷涂设备的基础上，对光刻胶喷涂工艺进行改进。超声波雾化喷涂设备电源功耗（10W）低，产生的雾化液滴平均粒径小、均匀性好，液滴直接喷涂在晶圆表面上的光刻胶利用率高，因此它被认为是一种绿色的光刻胶薄膜制备工艺。而普通超声波雾化喷涂设备表面的雾化液滴初始速度小，易于受到周围空气的扰动，不利于获得高质量的光刻胶薄膜，难以实现理想的喷涂效果。为此，驰飞超声波在超声波雾化喷涂设备中加入载气模块增加雾化液滴的动力，控制雾化喷涂方向和范围，实现光刻胶薄膜的定向喷涂于基底的晶圆表面。 驰飞超声波高精度喷涂设备实现光刻胶的定向喷涂，节约90%的光刻胶原料，避免了环境污染和后续处理的问题。

超声波血管支架喷涂 血管支架是指在管腔球囊扩张成形的基础上，在病变段置入内支架以达到支撑狭窄闭塞段血管，减少血管弹性回缩及再塑形，保持管腔血流通畅的目的。驰飞超声波雾化喷涂设备专业用于微小器械表面处理的高精度超声雾化喷涂系统，致力于将超声雾化喷涂技术与血管支架的涂层制备相结合，达到指导工艺开发，优化涂层质量的目的。驰飞超声波按照物理数学建模，流体力学仿真，实验检测与分析，工艺开发与应用的路线进行研究，成功开发出用于血管支架的超声波医疗喷涂设备。驰飞超声波对各项工艺参数进行了优化，发现超声波频率这一参数是影响涂层质量的主要因素。我们依据优化的参数，不断提高超声波频率，实现超声波雾化喷涂到超声波医疗喷涂的转变，进行支架涂层制备的实验验证了超声波医疗喷涂设备完全消除了常见的厚边、桥接、凹凸、颗粒不均等问题。表面粗糙度由优化前的6.35nm降到了1.72nm，涂层质量明显提高，此外涂层增量检测结果表明了同一支架多次喷涂涂层质量偏差在10μg左右，优化后的工艺有着良好的可靠性和稳定性。

超声波药物洗脱支架喷涂 药物洗脱支架也称之为药物释放支架，通过包被于金属支架表面的聚合物携带药物，当支架置入血管内病变部位后，药物自聚合物涂层中通过洗脱方式有控制地释放至血管壁组织而发挥生物学效应。药物洗脱支架的制作设备和制作工艺中的表面涂层技术对于药物洗脱支架的效用具有重要影响因素。传统的涂层制备工艺，如气象沉积、磁控溅射、等离子沉积等方法一般都需要昂贵的设备，且不利于支架的批量生产。驰飞超声波将超声波雾化喷涂的原理应用于药物洗脱支架的涂层制备过程，研发了一套超声波喷涂设备，并在此基础上改进整合出新的药物释放支架喷涂设备——超声波医疗喷涂设备。 超声波医疗喷涂设备是利用超声波换能器产生的超声波通过雾化介质传播，在气液界面处形成表面张力波，由于超声波空化作用而使液体分子作用力破坏，液体表面脱出形成雾滴，从而液体被雾化。超声波医疗喷涂设备经过改进雾化颗粒达到10微米左右，能够在药物释放支架表面形成一层均匀致密的涂层。