光致抗蚀剂涂层技术
光致抗蚀剂涂层技术 通过利用超声波雾化技术,负载有足够量溶剂的光致抗蚀剂被破碎并转化为微小的液滴,通常在微米级。然后,这些雾化的喷雾开始朝向基材的旅程。当它们到达目标时,数以百万计的这些液滴聚结并积聚,逐渐形成生长的抗蚀剂膜。为了确保抗蚀剂膜的厚度均匀,通常在分配喷雾的喷嘴和基板之间实现同步的横向移动。这种动态相互作用使液滴的分布更加均匀,补偿了任何潜在的不规则性。 优势: 喷涂方法具有显著的通用性,因为它可以有效地应用于任何可能尺寸和形状的基材。无论是小型微芯片组件还是大型工业面板,喷涂都可以适应。 即使是复杂的三维物体,只要它们被适当地定位和安装,也可以无缝地涂覆抗蚀剂。这为航空航天和生物医学工程等领域的先进制造开辟了新的可能性,在这些领域,复杂的几何形状司空见惯。 [...]