光致抗蚀剂旋转加热喷涂
光致抗蚀剂旋转加热喷涂 – 旋转模块喷涂热板 – 驰飞超声波喷涂
喷涂是一种可替代旋涂的方法，特别是当基材表面或形态意味着光刻胶涂层不能达到要求的均匀性。喷涂的基本原理是抗蚀膜由在μ m范围内雾化成液滴的光刻胶沉积形成。液滴的形成可能通过各种技术；最简单的就是制造雾化喷雾由类似于传统喷枪使用的喷嘴和氮气喷嘴组成。氮是首选，因为它有助于减少湿度或颗粒对抗蚀剂的污染，并产生干燥雾滴。产生雾化喷雾的第二种标准方法是使用超声波雾化器。超声波雾化器通过介质的高频机械振动产生抗蚀剂的液滴被载气输送到基板上。然后，抵抗剂的液滴沉积在基板表面，在那里它们形成连续的薄膜光致抗蚀剂。因此，喷涂可以覆盖基材的整个表面，即使是任意形状的基材无论拓扑结构如何，都要提供共形涂层。此外，光刻胶的浪费也更少与纺丝涂层相比，收率更高。
超声波喷涂技术用于半导体光刻胶涂层。与传统的旋涂和浸涂工艺相比，它具有均匀性高、微观结构良好的封装性和可控制的涂覆面积大小等优点。在过去的十年中，已经充分证明了采用超声喷涂技术的3D微结构表面光刻胶涂层，所制备的光刻胶涂层在微观结构包裹性和均匀性方面都明显高于传统的旋涂。
超声波喷涂系统可以精确控制流量，涂布速度和沉积量。低速喷涂成形将雾化喷涂定义为精确且可控制的模式，以在产生非常薄且均匀的涂层时避免过度喷涂。超声喷涂系统可以将厚度控制在亚微米到100微米以上，并且可以涂覆任何形状或尺寸。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
