光致抗蚀剂超声喷涂
在过去的十年中，已经在MEMS晶圆和其他3D微结构上直接喷涂光刻胶涂层，对喷涂沉积到3D形貌的优势进行了大量研究。
与传统的旋涂相比，采用超声波喷涂的光刻胶涂层在沉积更均匀的涂层方面具有优势，特别是在高纵横比沟槽和V形槽结构的侧壁顶部，离心旋转无法沉积均匀的涂层 沿侧壁形成均匀的薄膜，而不会在空腔底部沉积过多的光刻胶。
超声波喷涂是光刻晶圆加工中光刻胶涂层的一种简单、经济且可重复的工艺。 超声波涂层系统使用先进的分层技术可以精细控制流速、涂层速度和沉积量。 低速喷雾成形将雾化喷雾定义为精确、可控的图案，避免过度喷雾，同时产生非常薄、均匀的层。使用超声波技术的直接喷涂被证明是将光刻胶沉积到3D微结构上的可靠且有效的方法，从而减少了因金属过度暴露于蚀刻剂而导致的设备故障。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
