UEC6000L 中试型超声波光刻胶喷涂设备
我们专业提供满足新兴尖端产业需求的定制化解决方案，例如纳米技术、燃料电池、半导体涂层、医疗涂层、喷雾热解等等。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
平板显示器电路的制作、等离子显示器障壁的制作、液晶显示器彩色滤光片的制作均需采光光刻技术，均需使用不同类型的光刻胶。UEC6000L 中试型超声波光刻胶喷涂设备 可以应用于各种纳米及亚微米级功能性涂层薄膜的研发及生产，如：晶圆、半导体、陶瓷片、玻璃表面涂覆光刻胶、聚酰亚胺等光敏性材料。超声波喷涂技术用于半导体光刻胶涂覆，相比于旋涂、浸涂等传统涂覆工艺，其有着均匀度高、对微结构包裹性好、涂覆面积可控等优势。超声喷涂是一种简单有效且经济稳定的光刻胶涂覆解决方案，超声喷涂系统可良好的控制喷涂流量、涂覆速度和载料量，极低的载气流量确保了喷涂面积的精确性。
- 适用于研发及小批量生产
- 落地型设备
- 原料利用率可达95%
- 涂层均一且稳定，均匀度±5%
- 有效喷涂面积:650mmX 650mm
特征与参数
特征
• 轻柔，低速的喷雾，避免过量喷涂
• 减少80%的涂料消耗量
• 减少空气污染
• 喷头自清式设计不易堵塞
• 大大减少设备的停机维护时间
• 超低流量的连续或间断式精确喷涂
• 抗腐蚀的不锈钢和钛材料结构
基本参数
• 尺寸：1800 *1200 *1940mm
• 超声波系统*：配备宽幅型喷头
*颗粒平均粒径：38um
*喷涂幅宽：10- 80mm
*喷涂膜厚：10nm-100um
*喷涂流量范围：0.5- 50m/min
• 电源输入：220V AC 50/60HZ
电话：0571-87910406
- 手机：13372540303
微信：13372540303
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