超声波旋转喷涂光刻胶
超声波旋转喷涂光刻胶 – 晶圆喷涂 – 超声镀膜 – 驰飞超声波喷涂
超声波喷涂机UAM6000结合了新的喷涂和控制技术，可以实现更均匀、更致密和可控的薄膜涂层。该设备集成了超声波、载气、加热板、真空吸附、废气排放等多个系统。同时可应用于全系列的超声波喷嘴，适用于中等面积和大规模生产型的薄膜制备。 UAM6000 已广泛用于为 MEMS 晶圆和其他具有不同形貌的基板喷涂光刻胶。
附着力促进剂和光刻胶应由超声波喷嘴涂覆。进液系统的精确控制与合理设计的喷涂方式相结合，使基材喷涂均匀高效。
启动加热功能，方便后续喷涂。
将液体装入进液系统并引入超声波喷嘴，并使用超声波喷射泵检查喷嘴的工作情况。
在触摸屏上选择实验喷涂方法和喷涂参数进行喷涂
