超声波光刻胶涂布机

超声波光刻胶涂布机 – 为 MEMS 晶圆喷涂光刻胶 – 驰飞超声波喷涂

超声波喷涂机UAM6000结合了新的喷涂和控制技术，可以实现更均匀、更致密和可控的薄膜涂层。该设备集成了超声波、载气、加热板、真空吸附、废气排放等多个系统。同时可应用于全系列的超声波喷嘴，适用于中等面积和大规模生产型的薄膜制备。 UAM6000 已广泛用于为 MEMS 晶圆和其他具有不同形貌的基板喷涂光刻胶。

• 增粘剂和光刻胶应使用超声波喷嘴进行涂覆。进液系统的精确控制与合理设计的喷涂方式相结合，使基材喷涂均匀高效。
• 启动加热功能，方便后续喷涂。
• 将液体装入进液系统并引入超声波喷嘴，用超声波喷射泵检查喷嘴的工作情况。
• 在触摸屏上选择实验喷涂方法和喷涂参数进行喷涂

杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。杭州驰飞超声波设备有限公司全新网站已经上线，驰飞超声提供专业的镀膜解决方案，为您出谋划策，提供定制化服务，加速您的产品研发生产！