超声波喷雾热解技术

在“超声波喷雾热解技术”中，含有前体物质的溶液（在您的情况下含有氯化物，乙酸盐等）通过注射泵进料。使用压电晶体超声激发该溶液以产生非常细小的液滴。液滴尺寸在微米尺寸范围内，可以通过晶体的振荡频率来控制。液滴通过载气输送到加热的基板上，其中前体热分解并形成薄膜。

超声波喷雾热解视频

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