超声波喷涂技术用于传感材料

超声波喷涂技术可用于石墨烯、导电聚合物、金属氧化物np等传感材料。

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超声波喷涂系统可满足以下要求:

1.基材:氧化铝基材(尺寸:4寸方形、60*70/50.8*50.8)

2、温度控制系统:温度调控范围:室温-150℃,温度均匀性由于±3℃,温度控制精度±0.5℃,载台可旋转,最大转速200rpm,材质:耐腐蚀的吸盘、高分子材质的腔体。

3、光刻胶供应系统(定制):采用进口的胶泵,有液位检测系统,光刻胶供应精度±0.1ml,有光刻胶过滤设置、清洗装置、回收系统。

4、超声波喷嘴:雾化颗粒直径20-50um,频率50-120kHz,雾化流量可调0-5ml/min。

5、精度:X、Y定位精度和重复性精度小于±0.05。

6、喷胶结构深宽比最优。

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