超声波喷涂SiO₂/TiO₂交替膜层
超声波喷涂SiO₂/TiO₂交替膜层 – DOE膜层制备 – 驰飞超声波喷涂
在精密光学元件制造领域，膜层性能直接决定器件核心指标，超声波喷涂技术凭借其雾化均匀、涂层致密的优势，成为DOE（衍射光学元件）专用膜层制备的关键技术路径。其中SiO₂/TiO₂交替膜层与PFPE功能薄膜的制备成果，分别在半导体光刻与医疗成像领域实现了技术突破。
半导体光刻设备对光学元件的透光性能提出严苛要求，193nm深紫外波段作为光刻核心工作波长，其透光率直接影响成像精度与工艺稳定性。传统喷涂技术易出现膜层厚度不均、颗粒团聚等问题，导致透光率衰减明显。而超声波喷涂技术通过高频振动将SiO₂与TiO₂前驱液雾化成纳米级液滴，配合精准的气流控制，使两种材料交替沉积形成均匀膜层。SiO₂的低折射率与TiO₂的高折射率形成光学互补，通过调控膜层周期与厚度，有效减少深紫外光的反射损耗，最终实现≥99.2%的透光率。这种膜层不仅透光性能优异，还具备良好的机械稳定性，能承受光刻过程中的温度波动与化学环境侵蚀，完全满足高精度光刻设备的使用要求。
在医疗成像领域，DOE作为核心光学部件，常面临体液污染的难题，污染物附着会导致成像模糊、设备故障率升高。超声波喷涂技术制备的PFPE（全氟聚醚）疏水薄膜，为这一问题提供了有效解决方案。该技术通过优化喷涂参数，使PFPE分子在DOE表面形成均匀致密的涂层，其独特的分子结构赋予膜层极强的疏水性，接触角可达≥110°。这种高疏水性表面能有效排斥血液、组织液等体液，减少污染物附着。同时，该薄膜具有良好的生物相容性与耐消毒性能，经反复消毒后仍能保持稳定的疏水效果，既延长了DOE的使用寿命，又降低了医疗设备的维护成本，为医疗成像的清晰度与可靠性提供了保障。
超声波喷涂技术在两种DOE膜层制备中的成功应用，展现了其在精密膜层制造中的灵活性与优越性。无论是追求极致透光率的光学膜层，还是强调功能特性的防护涂层，该技术都能通过工艺优化实现性能突破，为半导体与医疗等高端制造领域的发展提供有力支撑。
关于驰飞
驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。
