光刻胶薄膜的沉积

光刻胶薄膜的沉积 – 涂覆光刻胶平面化光刻胶涂布方式驰飞超声波喷涂

新的UAM6000系统是一种全涂层解决方案,根据涂层要求配置超声波喷雾成型喷嘴。这些喷嘴具有高达90%的材料消耗减少、无堵塞性能、精确控制液滴尺寸以及在超低流速下可重复的喷雾模式。

光刻胶薄膜的沉积 - 涂覆光刻胶平面化 - 光刻胶涂布方式 - 驰飞超声波喷涂

UAM6000独特的系统功能包括:

·具有配方存储的自动喷涂

·设计用于100、150、200和300mm晶圆

·精密温度控制

·集成晶片锁定

·简单的手动操作员加载/卸载设计

·高重复性光刻胶输送泵,带自动再填充

·手动晶片加载/卸载

·高度可重复、稳定的过程

英文网站:CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION