光刻胶的正性和负性有什么区别
光刻胶的正性和负性有什么区别 我想很多人可能听说过,老旧的金属机身相机(银盐照片)中有底片、正片等词语,在光刻中所用的光刻胶也存在负性、正性。负性光刻胶在光照射到的地方会留下图形,而正性光刻胶在光照射不到的地方会留下图形。因此,同一掩膜版,使用负性光刻胶和正性光刻胶得到的图形是截然相反的。 正性光刻胶:正性光刻胶的感光材料是重氮萘醌并与酚醛树脂结合而成,在曝光后,光刻胶的曝光部分会发生化学变化,在显影液中可被溶解,而未曝光部分则保持不变,从而在衬底上形成与掩膜版相同图形的光刻胶图案。 负性光刻胶:负性光刻胶由感光材料+聚合物组成,光照射后进一步聚合,不溶于作为显影液的有机溶剂,也就是说,光刻胶的曝光部分会发生交联等化学变化,使得这部分在显影液中不溶解,而未曝光部分可被溶解,从而在衬底上形成与掩膜版相反图形的光刻胶图案。 相比而言,因为负性光刻胶发生的是聚合反应,在分辨率方面处于劣势,因此先进工艺中更常用的是正性光刻胶。 [...]