微电子涂层工艺 | 光刻胶、纳米材料、先进封装喷涂技术

超声喷涂技术实现微电子精密薄膜沉积,覆盖先进封装、面板级 PLP、倒装芯片助焊、光刻胶喷涂、碳纳米管导电墨水、EMI 屏蔽、MEMS 传感器、MicroLED/OLED 显示涂层。非接触雾化成膜,材料利用率高,适配研发至规模化量产。

面板级封装(PLP)/先进封装

面向大尺寸面板级半导体制造场景,超声喷涂技术可在整块面板、封装区域、通孔、沟槽以及各类复杂形貌结构上沉积厚度可控的超薄光刻胶层,材料利用率优异。采用非接触式超声喷涂工艺替代旋涂工艺后,厂商能够减少光刻胶耗材浪费,提升涂层均匀性,保障大尺寸面板光刻工艺稳定运行。

微电子光刻胶沉积——晶圆以外应用场景

针对大尺寸平面面板、大型透镜以及曲面、自由曲面光学元件,在旋涂工艺难以落地的场景中,超声喷涂能够在基材表面与微细结构上均匀沉积光刻胶薄膜,显著缓解边缘胶珠问题,规避抗反射结构、衍射结构及其他光刻工序出现聚胶、条纹缺陷。

功能性纳米材料均匀薄膜涂层 | 碳纳米管石墨烯精密沉积工艺

超声喷嘴可将碳纳米管、纳米线、导电墨水以及各类纳米悬浮液,在复杂异形结构表面沉积形成均匀超薄功能薄膜。雾化装置依靠超声振动实现天然解聚效果,打散悬浮液中易团聚的纳米颗粒团簇,让颗粒恢复原始分散状态,充分发挥材料本身的电学、光学或力学性能。

颗粒在气溶胶中保持均匀分散,可有效减少喷头堵塞,进一步提升涂层均匀度,稳定保障导电性能与薄膜品质。该类涂层可用于透明导电层、加热膜、EMI屏蔽层、天线以及传感功能层;能够精准管控涂层物料与溶剂供给,方案可从实验室台式研发平稳拓展至规模化量产。

屏蔽保护涂层 : 封装级电磁干扰屏蔽保护涂层

超声喷涂是极具发展潜力的EMI屏蔽制备工艺,可在复杂封装结构与壳体表面形成连续、均匀的导电薄膜,膜厚精准可控。众多制造企业选择采用喷涂沉积工艺,替代或补充MOCVD、屏蔽壳体等高成本方案,减少涂层材料用量、简化装配工序,同时降低产品整体重量。整套工艺可在聚合物基材与金属表层形成附着力稳定、导电性能可靠的屏蔽膜,支持从研发试样向产线连续生产过渡。

屏蔽保护涂层 : 封装级电磁干扰屏蔽保护涂层

传感器

面向传感器与MEMS器件,超声喷涂可制备各类功能涂层与防护涂层,包含催化金属氧化物薄膜、导电层、介电层、酶与生物敏感材料涂层,以及疏水涂层、有机硅涂层等。低速超声雾化方式能够保护精密敏感结构,同时严格把控薄膜厚度与均匀性。各类涂层可提升器件耐用性、膜层附着力与电气性能,工艺适配实验室研发、面板加工以及卷对卷生产线。

超声喷涂设备用于传感器薄膜涂层制备

下一代显示制造精密涂层工艺 | MicroLED/OLED/ 柔性显示薄膜沉积技术

MicroLED显示涂层工艺现阶段大多处于研发与中试阶段,技术持续向可规模化薄膜封装、精密助焊方向演进。MicroLED组装过程中,一道核心工序是在LED贴装前,于背板焊盘表面沉积一层薄而均匀的助焊膜。助焊剂能够清除氧化层、提升润湿效果,保障回流焊接时焊料牢固附着,直接决定产品良率与显示屏长期使用可靠性。

超声喷涂技术是该工序理想解决方案,可在海量微型焊盘上形成极薄且均匀一致的助焊薄膜,工艺重复性出色。低速雾化搭配精准喷头控制,杜绝液滴飞溅与多余残留,让每一处MicroLED与焊盘形成洁净、高结合强度的焊点。通过优化焊料润湿均匀性、降低污染物产生,有效提升生产良率,达成传统工艺难以实现的量产指标。

倒装焊助焊超声喷涂工艺 | 高精度选择性喷涂助焊解决方案

倒装芯片助焊工艺中,超声喷涂可在凸点与焊垫表面涂布薄而均匀的助焊膜,改善回流焊接润湿效果、提升焊点可靠性,同时减少残留物质与液滴飞溅。设备搭载闭环供液系统与高精度喷头控制,助焊剂供给量稳定可控,保证工艺重复性,避免出现桥接、偏移缺陷。方案可从样品试制无缝扩展至在线量产,广泛适用于高密度PCB与半导体封装场景。

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