方片衬底光刻胶喷涂
方片衬底光刻胶喷涂 :多材料适配与技术突破 在半导体封装、微型电路制造以及新型显示等领域,方片衬底如陶瓷、玻璃、PET等材料的光刻胶喷涂工艺至关重要。不同材质的衬底特性各异,对光刻胶喷涂技术提出了多样化的挑战与需求。 陶瓷衬底硬度高、表面致密,传统喷涂方法易出现光刻胶附着力不足、涂层不均的问题。玻璃衬底表面光滑,要求喷涂技术能实现高精度的胶层厚度控制,避免出现流挂、边缘堆积等缺陷。而PET等柔性方片衬底质地柔软,在喷涂过程中易发生形变,需要非接触式、低应力的喷涂方式 。 [...]


