晶圆切割保护膜 : 在硅晶圆切割前通过超声波喷涂技术涂覆保护膜
超声涂覆技术已被验证为一种可靠、可重复且高效的方法,可在晶圆切割、研磨和抛光前,将各类化学材料涂覆于硅晶圆表面实现晶圆与凸点保护。常用材料包括Z-Coat、PMMA等易去除化学涂层。我们的喷嘴系统可定制化设计,满足客户对切割保护膜的特殊涂覆需求与挑战。
超声波喷涂系统在需要均匀、可重复材料涂层的各类应用中均获验证。通过实现亚微米至100微米以上的精准厚度控制,并能喷涂任意形状与尺寸基材,本系统可有效替代旋涂和传统喷涂等其他技术。
超声波保护膜涂覆技术核心优势:
- 快速实现不同表面轮廓的均匀薄膜覆盖
- 化学材料与涂层特性的高度灵活性
- 无堵塞风险的雾化喷涂
- 超高材料转移效率,极大减少浪费
- 高度可重复的成熟喷涂工艺
- 通过简易分层技术精确控制流量、喷涂速度与沉积量
- 低速雾化技术将喷雾塑造成精准可控的形态
- 避免过度喷涂,形成超薄均匀涂层
超声波喷涂设备
我公司致力于打造一支高科技的研发和管理团队,深耕于市场,逐步成为全球化高端创新型超声波解决方案的引领者。
主要产品包括:实验室超声波纳米喷涂设备,高精密在线式纳米喷涂设备,医疗器械纳米喷涂设备,定制化精密超声波喷涂设备、超声波生产型流水线喷涂设备。

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