晶圆切割保护膜 : 在硅晶圆切割前通过超声波喷涂技术涂覆保护膜

超声涂覆技术已被验证为一种可靠、可重复且高效的方法,可在晶圆切割、研磨和抛光前,将各类化学材料涂覆于硅晶圆表面实现晶圆与凸点保护。常用材料包括Z-Coat、PMMA等易去除化学涂层。我们的喷嘴系统可定制化设计,满足客户对切割保护膜的特殊涂覆需求与挑战。

超声波喷涂系统在需要均匀、可重复材料涂层的各类应用中均获验证。通过实现亚微米至100微米以上的精准厚度控制,并能喷涂任意形状与尺寸基材,本系统可有效替代旋涂和传统喷涂等其他技术。

超声波保护膜涂覆技术核心优势:

  • 快速实现不同表面轮廓的均匀薄膜覆盖
  • 化学材料与涂层特性的高度灵活性
  • 无堵塞风险的雾化喷涂
  • 超高材料转移效率,极大减少浪费
  • 高度可重复的成熟喷涂工艺
  • 通过简易分层技术精确控制流量、喷涂速度与沉积量
  • 低速雾化技术将喷雾塑造成精准可控的形态
  • 避免过度喷涂,形成超薄均匀涂层

晶圆切割保护膜

超声波喷涂设备

我公司致力于打造一支高科技的研发和管理团队,深耕于市场,逐步成为全球化高端创新型超声波解决方案的引领者。
主要产品包括:实验室超声波纳米喷涂设备,高精密在线式纳米喷涂设备,医疗器械纳米喷涂设备,定制化精密超声波喷涂设备、超声波生产型流水线喷涂设备。

高温超声波喷雾热解设备

经济型实验室喷涂系统
喷涂面积*: 200 x 200mm

UAM2000
UAM4000L桌面型超声波精密喷涂机

桌面型超声波精密喷涂机
喷涂面积*: 400 x 400mm

UAM4000L
UAM4000S 超声波喷涂设备

桌面型精密超声波喷涂设备
喷涂面积*: 150 x 150mm

UAM4000S
UAM4000L-Advanced 超声波智能涂层设备

精密智能超声波薄膜喷涂机
喷涂面积*: 400 x 400mm

UAM4000L-Advanced
UAM4000L-HT 高温超声波喷涂系统

桌面型高温超声波镀膜设备
喷涂面积*: 300 x 300mm

UAM4000L-HT
UAM4000L-Widen 超声雾化喷涂设备

加宽桌面型超声雾化喷涂设备
喷涂面积*: 300 x 400mm

UAM4000L-Widen
UAM6000S 中型超声波薄膜喷涂设备

中型超声波薄膜喷涂设备
喷涂面积*: 500 x 500mm

UAM6000S
UAM6000L 中型超声波精密喷涂设备

大型超声波薄膜喷涂设备
喷涂面积*: 650 x 650mm

UAM6000L
UAM6000XL 大面积超声波喷涂设备

大面积超声波喷涂设备
喷涂面积*: 1200 x 1200mm

UAM6000XL
UAM6000XL 大面积超声波喷涂设备

大面积立式超声波喷涂设备
喷涂面积*: 1280 x 710mm

UAM6000XL (抽屉式)
UAM8000 超声波流水线方案喷涂机

超声波流水线方案喷涂机
配置喷头:7个超声喷头

UAM8000
UAM8000S 流水线超声喷涂机

超声波流水线方案喷涂机
配置喷头:3个超声喷头

UAM8000S
UAM9000W 流水线超声波喷涂机

大批量流水线超声波喷涂机
喷涂宽度:标准配置360-900mm(可定制)

UAM9000W
UNC9000 纳米粉体喷涂热解系统

纳米粉体超声喷雾热解系统
适合于制备超细粉体

UNC9000
UAG1000 超声波雾化造粒设备

小型超声波雾化造粒设备
适合于制备超细粉体

UAG1000
超声喷头

超声波喷头
多系列

超声波喷头

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